在罗茨真空机组主要用于需要处理大量水蒸汽和要求高真空度的真空泵系统，如真空干燥在需要处理大量水蒸气的真空系统中，更适合使用水环泵。但是由于真空度低，整个机组的真空度低，罗茨真空机组的原理如下。
　　保留了罗茨泵的优点，可以快速工作，泵速更快。特别是能适应抽出大量可凝性蒸汽，特别是气动油封机械真空泵的可凝性蒸汽排出能力不够，或者使用的溶剂会使泵油变质影响其性能，或者真空系统不允许油污染。当装有防爆电机和电器时，根据相应的规定，易燃易爆气体也可以抽出。在食品工业中的冷冻干燥，纺织工业制药工业中的应用，高空模拟试验等。
　　在罗茨水环真空机组中，原理大致有以下几种：
　　1.作用机组是罗茨泵所需的预备真空。一般来说，单级水环泵的真空度不高，而国产罗茨真空机组所需的预真空较高。所以，其实罗茨泵的前置泵一般不采用单级水环泵，而是采用压力较低的两级水环泵作为前置泵，也可以降低机组的压力。
　　2.罗茨泵和水环泵的压力为400 Pa，可以满足一般的真空要求，但应用范围有限。如果两个单元串联，单元的压力可以大大增加(高达25Pa)。所以在这种类型中，通?；峥吹搅礁雎薮谋么?，然后用一个两级泵作为前级泵组成一个单元。如果需要更高的压力，可以将三台罗茨泵与水环泵组合使用，压力可以达到1Pa。
　　3.用于高真空的罗茨真空机组不能直接排放到大气中。例如，罗茨真空机组的进气口和出气口之间的压差太大，使罗茨真空泵过载。如果简单地增加真空泵电机的功率，真空泵就会过热，这样罗茨真空泵转子之间的小间隙就会因热膨胀而迅速堵塞。
　　4.为了保证罗茨真空泵能达到高真空，一定要保证罗茨真空泵转子之间的间隙。
　　因此，总的来说，罗茨真空机组选择水环泵作为前级泵比其他真空泵更有优势，主要是因为它可以去除大量的可凝蒸汽，特别是当带有气动油封的机械真空泵去除可凝蒸汽的能力不足时，或者使用的溶剂会使泵油变质，影响其性能。